Блоки откачки и наполнения многокомпонентной газовой смесью для герметизации приборов и других процессов

Система откачки и наполнения газовыми смесями вакуумных камер и изделий является автономным модулем, осуществляющим вакуумирование, приготовление и контролированное наполнение многокомпонентной газовой смесью камер в ручном и автоматическом режиме. Система осуществляет управление откачными средствами, перекрытие соответствующих клапанов и натекателей на входе в камеру. Установка включает систему управляющих контроллеров и датчиков обратной связи по величине вакуума, избыточному давлению в каждом газовом канале и исполнительную запорно-регулирующую арматуру в составе с откачным средством – вакуумным насосом.

В качестве опций в комплект поставки могут входить контроль и регулирование таких параметров как:
• состав газовой смеси
• температура камеры
• прокалака токовводов ТВЧ
• температура точки росы газовой смеси
• исполнительными устройствами и управлением автоматического открытия-закрытия шлюзов вакуумных камер, автоматической загрузкой-выгрузкой изделий, устройствами дополнительной очистки и осушки газовых смесей и др.


Система может быть дополнена исполнительными устройствами и управлением автоматического открытия-закрытия шлюзов вакуумных камер, автоматической загрузкой-выгрузкой изделий, устройствами дополнительной очистки и осушки газовых смесей и др. Установка может быть выполнена в – дюймовом корпусе для монтажа в стандартную стойку, в отдельном корпусе, либо интегрирована в оборудование заказчика.