Установка для импульсного намагничивания и размагничивания кольцевых магнитов предназначена для намагничивания до насыщения, размагничивания до заданного уровня и измерения остаточной магнитной индукции в центре кольцевых магнитов.

Установка импульсного намагничивания· предназначена для частичного размагничивания (намагничивания) постоянных магнитов в форме дисков на основе магнитотвердых спеченных сплавов кобальт-самарий.

Система откачки и наполнения газовыми смесями вакуумных камер и изделий является автономным модулем, осуществляющим вакуумирование, приготовление и контролированное наполнение многокомпонентной газовой смесью камер в ручном и автоматическом режиме. Система осуществляет управление откачными средствами, перекрытие соответствующих клапанов и натекателей на входе в камеру. Установка включает систему управляющих контроллеров и датчиков обратной связи по величине вакуума, избыточному давлению в каждом газовом канале и исполнительную запорно-регулирующую арматуру в составе с откачным средством – вакуумным насосом.

Установка предназначена для получения протяжённых областей объёмного заряда в детекторах ионизирующих излучений.

При использовании технологии сращивания пластин образование поверхностного слоя производится путём прямого сращивания второй кремниевой пластины со слоем диоксида. Для этого гладкие, очищенные и активированные за счёт химической или плазменной обработки пластины подвергают сжатию и нагреву. Данная технология распространена при получении КНИ-структур МЭМС

Установка предназначена для поляризации пьезокерамических элементов в жидкой или газовой среде, обеспечивающая возможность групповой обработки с предварительной и последующей термообработкой элементов. Контролирование параметров температуры, времени и высоковольтного напряжения процесса поляризации позволяет провести качественный технологический процесс. Процесс направлен на поляризацию пьезокерамических изделий, для чего производится их разогрев в масляной ванне, подача высоковольтного потенциала на электроды и плавное остывание.

Шлифовальный станок для обработки боковых обрезков от слитков мультикристаллического кремния. Обрабатываемая поверхность обрезков – поверхность, образованная стенками тигля. Диаметр шлифовального круга – 500 мм. кремния.

Вакуумный пост КНМ предназначен для отжига кремниевых пластин и молибденовых дисков диаметром от 50 до 105 мм. Установка содержит газонепроницаемый кварцевый реактор с внешним диаметром 180 мм, с двумя герметичными фланцами, термоизоляционную футеровку, нагреватель до 1200 ºС, систему воздушного охлаждения , систему водяного охлаждения фланцев, трансформаторы нагревателя, систему откачки газов с вакуумными насосами, панель управления.