Вакуумный пост КНМ предназначен для отжига кремниевых пластин и молибденовых дисков диаметром от 50 до 105 мм. Установка содержит газонепроницаемый кварцевый реактор с внешним диаметром 180 мм, с двумя герметичными фланцами, термоизоляционную футеровку, нагреватель до 1200 ºС, систему воздушного охлаждения , систему водяного охлаждения фланцев, трансформаторы нагревателя, систему откачки газов с вакуумными насосами, панель управления.