Установка парофазного осаждения оксида олова
Direct liquid injection Chemical vapor deposition (DLICVD)

Установка осаждения модель P2001 – это система, в которой оксид олова, легированный сурьмой, полученный из впрыскиваемого в камеру аэрозоля, осаждается на керамических трубках в соответствии с химической реакцией образования металлокерамики.
Это результат конструкторской разработки, проведенной нашим коллективом в 2013г. при производстве реакторов и в сотрудничестве с производителями полупроводников и университетскими исследовательскими центрами.

Наша Компания спроектировала P2001 в ответ на потребности промышленности в системах, производящих резистивные пленки с превосходным контролем за такими критическими параметрами как:
- удельное сопротивление
- гибкость процесса от менее, чем 1 до более 20 микрон.